文章來源：有研科(ke)技集團(tuan)有限公(gong)司 發布時(shi)間：2022-01-12
摘要：有研(yan)半導體(ti)材料(liao)有限公司（簡稱(cheng)“有研(yan)半導體(ti)”）是我國最早從事(shi)半導體(ti)硅(gui)材料(liao)研(yan)發及產業(ye)化的(de)單位，擁有業(ye)內最齊全的(de)半導體(ti)硅(gui)材料(liao)產品。
作為國(guo)(guo)(guo)內(nei)唯一一家(jia)(jia)從事半導體硅材料(liao)研發、生產和銷售的央企單位，有(you)研半導體始終以服務國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)、服務社(she)會為大(da)局，積極(ji)響應(ying)國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)戰(zhan)略需求(qiu)，為支撐(cheng)和推動我國(guo)(guo)(guo)集(ji)成(cheng)電路產業(ye)的發展做(zuo)出了突(tu)出貢獻。
關鍵詞：大尺(chi)寸硅片 半導體 集成電(dian)路(lu)
背景PART 01
半(ban)導體材(cai)料(liao)作為(wei)集(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路產(chan)業(ye)中最為(wei)重要的(de)(de)(de)關(guan)鍵性(xing)原材(cai)料(liao)，是信息安全(quan)保障(zhang)的(de)(de)(de)重要環(huan)節(jie)，與國家利(li)益密(mi)切相關(guan)。硅(gui)片作為(wei)最主要的(de)(de)(de)半(ban)導體材(cai)料(liao)，伴隨我(wo)國5G通訊、人(ren)工智能、大數(shu)據、自(zi)動駕駛、物(wu)聯網、工業(ye)自(zi)動化等新興產(chan)業(ye)的(de)(de)(de)發(fa)展，需求量快速增長。但在(zai)高端(duan)集(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路用硅(gui)片領域，長期被(bei)國外企(qi)業(ye)壟斷，是制約(yue)我(wo)們集(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路產(chan)業(ye)發(fa)展的(de)(de)(de)“卡脖子”問題。有研(yan)半(ban)導體積極響(xiang)應國家戰略需求，承擔央企(qi)使命，加大力(li)度創新研(yan)發(fa)，多(duo)方位產(chan)業(ye)布局，助力(li)我(wo)國集(ji)(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路產(chan)業(ye)的(de)(de)(de)發(fa)展。
責任行動PART 02
（一）人才培養打基礎
有研半導體(ti)堅(jian)持實施創新驅動(dong)戰(zhan)略，把(ba)人才(cai)(cai)(cai)培養作為推動(dong)企業發展(zhan)源(yuan)(yuan)動(dong)力。建立(li)由總經理主管(guan)(guan)、人力資(zi)源(yuan)(yuan)部門牽(qian)頭、各部門領導主抓的負責機(ji)制，按照“人盡(jin)其(qi)才(cai)(cai)(cai)，才(cai)(cai)(cai)盡(jin)其(qi)用(yong)”的工作原則(ze)，建立(li)一套適合公司發展(zhan)需求的人才(cai)(cai)(cai)培養、選拔和使用(yong)的管(guan)(guan)理制度。
大力(li)選拔年輕優秀的(de)(de)專業(ye)人(ren)員(yuan)作為技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)領軍(jun)人(ren)才(cai)(cai)，在(zai)(zai)資(zi)金、設備、機制方面給予充分保障(zhang)，為其創造輕松安心的(de)(de)科研環境，并(bing)不定期組(zu)織去國外開展技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)交流，接(jie)觸(chu)領域內(nei)最前(qian)沿技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)，使其快速成長，目(mu)前(qian)公司各(ge)研發團隊負責人(ren)平均年齡(ling)不超過38歲。在(zai)(zai)培養技(ji)(ji)(ji)術(shu)(shu)領軍(jun)人(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)同時(shi)，公司也把(ba)對(dui)注重加(jia)強對(dui)高(gao)(gao)技(ji)(ji)(ji)能(neng)(neng)人(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養，從企業(ye)戰略高(gao)(gao)度(du)，把(ba)對(dui)高(gao)(gao)技(ji)(ji)(ji)能(neng)(neng)人(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養納入到(dao)企業(ye)人(ren)力(li)資(zi)源總規(gui)劃中(zhong)。不斷加(jia)大對(dui)高(gao)(gao)技(ji)(ji)(ji)能(neng)(neng)人(ren)才(cai)(cai)的(de)(de)培養力(li)度(du)，建立行(xing)之(zhi)有(you)(you)效的(de)(de)激勵政策，使技(ji)(ji)(ji)能(neng)(neng)人(ren)才(cai)(cai)在(zai)(zai)薪(xin)酬、職(zhi)稱評定、職(zhi)務晉(jin)升等方面和專業(ye)人(ren)才(cai)(cai)享有(you)(you)同等權利(li)。
目前公(gong)司(si)不僅擁有順義區“梧桐工程”臨空經濟(ji)高端(duan)人才、突出貢獻中(zhong)青年專(zhuan)家、享受政府特(te)殊貼等各類高級(ji)人才，更培養了各類高級(ji)技能(neng)人員300余人，為(wei)公(gong)司(si)可持續(xu)發(fa)展打下堅(jian)實的人才基(ji)礎。
（二）科技創新強合作
集(ji)成電路產(chan)(chan)業作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)為技(ji)(ji)術密集(ji)型的高科技(ji)(ji)行業，伴(ban)隨經濟(ji)全球化的深入與發展，科技(ji)(ji)合(he)(he)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)趨(qu)勢日(ri)益加強。有研半導體緊(jin)密對接企業需(xu)求(qiu)，與國內外相關(guan)(guan)單位(wei)加強科技(ji)(ji)合(he)(he)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)，開展聯合(he)(he)攻關(guan)(guan)，對企業科技(ji)(ji)發展、創新人才培養、科技(ji)(ji)實力提升、產(chan)(chan)業升級(ji)等起到了積極的促進作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)用(yong)。
有研半導體研發(fa)團隊(dui)與(yu)大(da)連理工大(da)學(xue)等(deng)單(dan)位開展的“大(da)尺(chi)寸硅片(pian)超精(jing)密磨削(xue)技(ji)術(shu)與(yu)裝備(bei)”項(xiang)目，經過多年的聯合攻(gong)關(guan)，取得重(zhong)大(da)突(tu)破，成(cheng)(cheng)果整體達到國(guo)(guo)際(ji)先進(jin)水平。利用(yong)該成(cheng)(cheng)果制(zhi)造的硅片(pian)已供應于中(zhong)芯國(guo)(guo)際(ji)集成(cheng)(cheng)電路制(zhi)造（北京）有限公(gong)司等(deng)用(yong)戶(hu)，為“中(zhong)國(guo)(guo)芯”制(zhi)造提(ti)供了(le)有力支撐。該項(xiang)目榮獲2019年國(guo)(guo)家技(ji)術(shu)發(fa)明二等(deng)獎。
有研(yan)半(ban)導體(ti)與日本RST公(gong)司(si)簽(qian)訂戰略協(xie)議(yi)，雙(shuang)方(fang)在(zai)技(ji)術(shu)交(jiao)流(liu)和(he)人(ren)(ren)才培(pei)(pei)養等方(fang)面不斷加強合(he)(he)作。日本RST公(gong)司(si)是全球最(zui)大的(de)再(zai)生硅片制造(zao)商，擁有雄厚的(de)硅材料研(yan)發(fa)能力和(he)高水(shui)平研(yan)發(fa)人(ren)(ren)才。合(he)(he)作兩年來，有研(yan)半(ban)導體(ti)累(lei)計派出19名中高層管理人(ren)(ren)員(yuan)和(he)4名工(gong)程技(ji)術(shu)人(ren)(ren)員(yuan)前往(wang)日本進行(xing)學習交(jiao)流(liu)，并在(zai)海(hai)外合(he)(he)作設立(li)培(pei)(pei)養基地(di)，啟動(dong)了(le)“優秀工(gong)程師海(hai)外培(pei)(pei)養計劃”，簽(qian)訂長期的(de)培(pei)(pei)訓協(xie)議(yi)。
通過國(guo)際合作，有研(yan)半導體建立了海外高(gao)層次人(ren)(ren)(ren)才和(he)工程技術(shu)人(ren)(ren)(ren)才培養計劃，吸引(yin)招納海外高(gao)層次人(ren)(ren)(ren)才7名。同時(shi)為應對國(guo)際化需求(qiu)，針對不同領(ling)域邀請相關外籍專家對技術(shu)人(ren)(ren)(ren)員進(jin)行專項培訓，進(jin)一步拓寬專業領(ling)域國(guo)際視野，國(guo)內技術(shu)研(yan)發人(ren)(ren)(ren)員水平(ping)得(de)以快速提(ti)升。
（三）戰略布局促發展
伴隨(sui)5G通訊、人(ren)工智(zhi)能、大數據等新(xin)興(xing)產(chan)業(ye)(ye)的崛起，12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片成(cheng)為(wei)國(guo)際主流(liu)半導體(ti)材料。當前，國(guo)內12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片產(chan)能遠(yuan)遠(yuan)不能滿足(zu)國(guo)內市場需求，缺口巨大，基本依賴(lai)進口，國(guo)家信息和產(chan)業(ye)(ye)安全(quan)不能得(de)到保(bao)障(zhang)，12英寸(cun)硅(gui)(gui)(gui)片國(guo)產(chan)化問題迫(po)在(zai)眉(mei)睫。
12英(ying)寸硅片(pian)產業資金(jin)門(men)檻(jian)、技術門(men)檻(jian)、市場門(men)檻(jian)、團隊等(deng)都要求高，風險也較大。作(zuo)為國內最早開展12英(ying)寸研發和產業化的國家(jia)隊，有研半導體一(yi)直將(jiang)(jiang)12英(ying)寸硅片(pian)這項國家(jia)戰略難題當(dang)成自身的使(shi)命(ming)，并將(jiang)(jiang)其與公司未來(lai)發展緊密結合在一(yi)起。
有(you)(you)研(yan)半(ban)導(dao)體(ti)通過多年(nian)的(de)(de)技術(shu)(shu)研(yan)發(fa)，成(cheng)功拉制國內(nei)(nei)第(di)1根12英(ying)(ying)寸硅(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)，在國內(nei)(nei)率先了完成(cheng)55nm水平(ping)的(de)(de)12英(ying)(ying)寸硅(gui)(gui)(gui)片(pian)技術(shu)(shu)攻關(guan)(guan)，突破了12英(ying)(ying)寸硅(gui)(gui)(gui)單(dan)晶(jing)(jing)生(sheng)長、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)精密加工、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)外延等關(guan)(guan)鍵技術(shu)(shu)，解決了單(dan)晶(jing)(jing)缺陷、體(ti)鐵濃度、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)表面金屬污染、硅(gui)(gui)(gui)片(pian)表面平(ping)整度等技術(shu)(shu)難題。形成(cheng)了具有(you)(you)自主知識產(chan)權的(de)(de)技術(shu)(shu)布(bu)局，在硅(gui)(gui)(gui)材料領域已經建立200余項(xiang)專利和40余項(xiang)標準，其中12英(ying)(ying)寸硅(gui)(gui)(gui)片(pian)有(you)(you)70余項(xiang)專利支撐(cheng)。建立了國內(nei)(nei)第(di)一(yi)條12英(ying)(ying)寸硅(gui)(gui)(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)線，并保(bao)持中試(shi)線連續運轉(zhuan)，保(bao)證每年(nian)10萬片(pian)的(de)(de)產(chan)出，產(chan)品通過了客戶認證，為未來(lai)的(de)(de)產(chan)業化奠定了堅實的(de)(de)基(ji)礎。
履責成效PART 03
近年來，有研半導體始終(zhong)把解決(jue)國家(jia)集成電(dian)路產業發(fa)展所需的關鍵半導體硅(gui)材料作為企業規劃布局的主要方向，并取得了一系列成效。
（一）產業化建設方面
在山(shan)東(dong)德州(zhou)布局的(de)“8英寸(cun)(cun)硅(gui)片(pian)項(xiang)目(mu)”已(yi)于2019年3月開工建設(she)，2020年9月實現規模化生產，全力保障我國集(ji)成(cheng)電路用8英寸(cun)(cun)硅(gui)片(pian)的(de)需(xu)求。作(zuo)為戰略布局的(de)12英寸(cun)(cun)硅(gui)片(pian)項(xiang)目(mu)，經過多次協(xie)商，有研集(ji)團、日(ri)本(ben)RST公(gong)司和山(shan)東(dong)德州(zhou)市政府達(da)成(cheng)戰略合作(zuo)協(xie)議，在山(shan)東(dong)德州(zhou)8英寸(cun)(cun)項(xiang)目(mu)的(de)基礎(chu)上共(gong)同推進12英寸(cun)(cun)硅(gui)片(pian)國產化，項(xiang)目(mu)已(yi)完成(cheng)籌備(bei)，進入建設(she)階(jie)段。
有研半導體8英寸和12英寸硅(gui)(gui)(gui)片項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)對完(wan)善我(wo)(wo)國硅(gui)(gui)(gui)材(cai)料(liao)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)布局具有重要的(de)(de)(de)(de)戰略意義，標志著我(wo)(wo)國半導體硅(gui)(gui)(gui)片產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)整體技術水平邁(mai)上(shang)了一個(ge)新臺階。兩(liang)個(ge)項(xiang)(xiang)目(mu)(mu)的(de)(de)(de)(de)建設(she)不僅擺脫大尺寸硅(gui)(gui)(gui)片長期依(yi)賴進口的(de)(de)(de)(de)局面，緩解(jie)了國內大尺寸硅(gui)(gui)(gui)片供給側的(de)(de)(de)(de)壓力，更將帶動我(wo)(wo)國多晶硅(gui)(gui)(gui)材(cai)料(liao)、石英、特殊氣體、電(dian)子化學(xue)品(pin)、設(she)備、芯(xin)片制(zhi)造等上(shang)下游(you)產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)發(fa)展，是對我(wo)(wo)國集成電(dian)路產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)鏈的(de)(de)(de)(de)有力補充，給我(wo)(wo)國集成電(dian)路產(chan)(chan)業(ye)(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)發(fa)展注入一針“強(qiang)心劑”。
同時，借助日本RST公(gong)司(si)的(de)國(guo)際背景，打(da)入(ru)全球集(ji)成(cheng)電(dian)路產業供應鏈中，參與國(guo)際競(jing)爭，全力打(da)造大尺寸硅(gui)片的(de)國(guo)產化(hua)自主(zhu)品牌，對提高國(guo)內集(ji)成(cheng)電(dian)路企業在國(guo)際的(de)話語(yu)權(quan)，提升(sheng)國(guo)內集(ji)成(cheng)電(dian)路產業在國(guo)際上的(de)地位(wei)具(ju)有重要的(de)推(tui)動和促進作用(yong)。
（二）科技創新方面
有研半導體(ti)立足自主創新，聯合國(guo)內力量，利用國(guo)際資源，重點開(kai)展硅及硅基材料技術(shu)開(kai)發與創新，生產工藝升(sheng)(sheng)級，提(ti)升(sheng)(sheng)公司產品競爭力。
完成了國(guo)家(jia)(jia)科(ke)技(ji)重大專(zhuan)項《極大規模(mo)集成電路制造裝備(bei)及成套(tao)工藝(yi)》中“硅(gui)(gui)(gui)(gui)材料設備(bei)應用工程”、“200mm硅(gui)(gui)(gui)(gui)拋(pao)(pao)(pao)光片產品(pin)技(ji)術(shu)開發(fa)和產業(ye)化能力(li)(li)提(ti)升”、“90nm/300mm硅(gui)(gui)(gui)(gui)片產品(pin)競爭(zheng)力(li)(li)提(ti)升與產業(ye)化”的(de)(de)驗(yan)收；以(yi)自(zi)有12英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)片工藝(yi)為基(ji)礎，牽頭(tou)組(zu)織(zhi)國(guo)內多(duo)家(jia)(jia)半導(dao)體設備(bei)廠商完成了國(guo)產12英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)單晶(jing)爐、磨削機(ji)、多(duo)線切割機(ji)、雙面拋(pao)(pao)(pao)光機(ji)、單面拋(pao)(pao)(pao)光機(ji)、退火爐的(de)(de)研制和驗(yan)證(zheng)，相關設備(bei)已應用在(zai)實際生(sheng)(sheng)產中；開展國(guo)家(jia)(jia)重點研發(fa)計(ji)劃“超(chao)高(gao)純稀有金屬材料精密制備(bei)技(ji)術(shu)”課題的(de)(de)研究，確定大規格(ge)高(gao)純硅(gui)(gui)(gui)(gui)單晶(jing)生(sheng)(sheng)長工藝(yi)，研發(fa)尺寸＞φ300mm，純度≥9N 的(de)(de)超(chao)純硅(gui)(gui)(gui)(gui)單晶(jing)環(huan)和多(duo)孔(kong)電極；開發(fa)大單晶(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)及其深加工產品(pin)、8英寸硅(gui)(gui)(gui)(gui)拋(pao)(pao)(pao)光片、區熔硅(gui)(gui)(gui)(gui)單晶(jing)及拋(pao)(pao)(pao)光片等高(gao)端產品(pin)，繼續擴大優勢產品(pin)生(sheng)(sheng)產規模(mo)，優化產業(ye)結構(gou)，切實增強市場競爭(zheng)能力(li)(li)和抗(kang)風險能力(li)(li)。
通過國際合作(zuo)，加快了精密加工(gong)工(gong)藝流(liu)程(cheng)的(de)設(she)計及(ji)硅(gui)部件精密加工(gong)研發(fa)平臺的(de)建設(she)，突(tu)破了多項關鍵技(ji)術難題。
（三）經濟及社會效益方面
近年(nian)來，中(zhong)(zhong)(zhong)美貿易摩擦嚴重，在(zai)(zai)復雜艱難的(de)國(guo)(guo)(guo)際(ji)環境下，有研半(ban)導體(ti)積極承擔(dan)央(yang)企(qi)(qi)(qi)(qi)使命，全力保障國(guo)(guo)(guo)內集成電路產(chan)業(ye)(ye)需(xu)要，并(bing)最終實現銷售(shou)和盈利目標。有研半(ban)導體(ti)作(zuo)為(wei)業(ye)(ye)內唯一一家(jia)(jia)央(yang)企(qi)(qi)(qi)(qi)，在(zai)(zai)行(xing)業(ye)(ye)內樹立了標桿形象，是半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)(ye)協(xie)會(hui)(hui)支撐(cheng)分會(hui)(hui)理事(shi)長單位，中(zhong)(zhong)(zhong)國(guo)(guo)(guo)有色金(jin)屬(shu)學會(hui)(hui)半(ban)導體(ti)材料(liao)學術委員會(hui)(hui)掛靠(kao)單位，業(ye)(ye)內唯一一家(jia)(jia)集國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)企(qi)(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)技術中(zhong)(zhong)(zhong)心、國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)半(ban)導體(ti)材料(liao)工程研究中(zhong)(zhong)(zhong)心、國(guo)(guo)(guo)家(jia)(jia)技術創新示范企(qi)(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)為(wei)一身(shen)的(de)企(qi)(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)。公(gong)司2016-2018年(nian)連續三年(nian)獲(huo)得中(zhong)(zhong)(zhong)國(guo)(guo)(guo)半(ban)導體(ti)行(xing)業(ye)(ye)協(xie)會(hui)(hui)評(ping)選的(de)“中(zhong)(zhong)(zhong)國(guo)(guo)(guo)半(ban)導體(ti)十強(qiang)企(qi)(qi)(qi)(qi)業(ye)(ye)”。
展望PART 04
當前(qian)，我國經濟已由高(gao)(gao)速增長階段轉向高(gao)(gao)質(zhi)量發展階段。面對錯(cuo)綜復雜的(de)(de)國際環境，中國集成電路產業既面臨著(zhu)千(qian)載難逢(feng)的(de)(de)歷史機遇，又(you)面臨著(zhu)差距(ju)拉大的(de)(de)嚴峻(jun)挑(tiao)戰。
有研半導(dao)體作(zuo)為(wei)央企一份子，始終以“思國(guo)之(zhi)需 解國(guo)之(zhi)憂(you)”為(wei)根本出(chu)發(fa)點，時刻(ke)牢記(ji)國(guo)家賦予的(de)歷史使命，堅持創(chuang)新(xin)驅動發(fa)展(zhan)戰略，扎根集(ji)成電路(lu)用大尺寸硅材(cai)料領域，潛心研究，為(wei)我國(guo)集(ji)成電路(lu)產業(ye)的(de)發(fa)展(zhan)提(ti)供(gong)有力的(de)基礎支(zhi)撐，爭當新(xin)時代創(chuang)新(xin)驅動發(fa)展(zhan)的(de)排頭兵。
【責任編(bian)輯：李沐(mu)霖】
