文章(zhang)來(lai)源：中(zhong)國電子(zi)科技集團(tuan)有限公司 發布(bu)時間：2020-02-27
近日，中國電科46所經(jing)過(guo)多年氧(yang)化鎵(jia)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)生(sheng)長技術探索，通過(guo)改進熱(re)場結構、優化生(sheng)長氣(qi)氛和晶(jing)體(ti)(ti)(ti)生(sheng)長工藝(yi)，有效(xiao)解決了晶(jing)體(ti)(ti)(ti)生(sheng)長過(guo)程中原料分解、多晶(jing)形成、晶(jing)體(ti)(ti)(ti)開(kai)裂等問題(ti)，采用導模法成功制備出高質量的4英寸(cun)氧(yang)化鎵(jia)單晶(jing)。
氧(yang)(yang)化(hua)鎵(jia)是一種新型(xing)超寬禁(jin)帶半導體材料，適用于(yu)制造(zao)高(gao)(gao)電流密度的(de)(de)(de)功(gong)率(lv)器(qi)件、紫(zi)外探(tan)測(ce)器(qi)、發光二(er)極(ji)管(guan)等。但由于(yu)氧(yang)(yang)化(hua)鎵(jia)屬于(yu)單(dan)斜晶(jing)系，具(ju)有(you)高(gao)(gao)熔(rong)點(dian)、高(gao)(gao)溫分(fen)解以及易開裂的(de)(de)(de)特性，因此，大尺寸(cun)(cun)氧(yang)(yang)化(hua)鎵(jia)單(dan)晶(jing)制備極(ji)為困難。中國電科(ke)46所制備的(de)(de)(de)氧(yang)(yang)化(hua)鎵(jia)單(dan)晶(jing)的(de)(de)(de)寬度接近100mm，總長度達到250mm，可加工出4英(ying)寸(cun)(cun)晶(jing)圓(yuan)、3英(ying)寸(cun)(cun)晶(jing)圓(yuan)和2英(ying)寸(cun)(cun)晶(jing)圓(yuan)。經(jing)測(ce)試，晶(jing)體具(ju)有(you)很(hen)好的(de)(de)(de)結晶(jing)質量，將為國內(nei)相關(guan)器(qi)件的(de)(de)(de)研(yan)制提供有(you)力(li)支(zhi)撐。
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