文章來(lai)源：中國建筑材料集團(tuan)公司 發布時間：2017-06-16
近日(ri)，中國(guo)建材(cai)集團所屬(shu)中國(guo)建材(cai)總院基(ji)于光刻用石(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)(li)基(ji)板綠色(se)制造技術，在(zai)衢(qu)州(zhou)建成了國(guo)內首條從基(ji)板原材(cai)料制造到產品(pin)加工的(de)成套生產線(xian)。該生產線(xian)可年產20000片4-6英(ying)寸石(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)(li)基(ji)板，打破了石(shi)英(ying)玻(bo)璃(li)(li)基(ji)板原材(cai)料及產品(pin)長(chang)期依賴進口的(de)局面。
該(gai)生產線的(de)建(jian)(jian)立，是(shi)中國建(jian)(jian)材總院(yuan)承擔的(de)“十二五(wu)”國家科(ke)技(ji)支撐計劃(hua)“高性能石英玻(bo)璃(li)(li)(li)、微晶玻(bo)璃(li)(li)(li)等(deng)特種材料關鍵技(ji)術研(yan)發及示范”課題的(de)成(cheng)果之(zhi)一(yi)。石英玻(bo)璃(li)(li)(li)基(ji)(ji)板是(shi)集成(cheng)電路芯片制造工(gong)藝中的(de)核心器件，市場需求(qiu)量(liang)巨大(da)。作為石英玻(bo)璃(li)(li)(li)基(ji)(ji)板的(de)原材料，合成(cheng)石英玻(bo)璃(li)(li)(li)具有(you)熱(re)穩定性好、光學均(jun)勻(yun)性高、耐輻照(zhao)等(deng)諸多優點。然而，受原材料純度、均(jun)勻(yun)性及加工(gong)精度、硬脆(cui)特性等(deng)制約(yue)，我國石英玻(bo)璃(li)(li)(li)基(ji)(ji)板長期依賴進口。
經(jing)過中國(guo)(guo)建材總院科(ke)研人員的(de)不(bu)懈努力，最終形成了(le)一(yi)套符合我國(guo)(guo)行(xing)業(ye)現狀與發(fa)展趨(qu)勢(shi)的(de)獨(du)有工(gong)藝路線(xian)，不(bu)但解(jie)決了(le)石英(ying)(ying)玻(bo)璃基板原材料(liao)的(de)純度、均勻性(xing)難題，同時實(shi)現了(le)原材料(liao)綠色制(zhi)(zhi)造(zao)。該項(xiang)目還引入多(duo)刀切割、安全快速磨拋工(gong)藝，創(chuang)造(zao)性(xing)地開發(fa)了(le)熔拉制(zhi)(zhi)坯、數控倒角(jiao)等技術，解(jie)決了(le)石英(ying)(ying)玻(bo)璃基板加(jia)工(gong)精度的(de)難題。從基板原材料(liao)制(zhi)(zhi)造(zao)到產品加(jia)工(gong)，中國(guo)(guo)建材總院形成專利20余項(xiang)，行(xing)業(ye)標(biao)(biao)準(zhun)、國(guo)(guo)軍標(biao)(biao)及國(guo)(guo)家(jia)標(biao)(biao)準(zhun)10余項(xiang)，開發(fa)出了(le)多(duo)種(zhong)規格的(de)石英(ying)(ying)玻(bo)璃基板、晶圓、透鏡等系列產品，不(bu)僅逐步替代進口產品，實(shi)現了(le)高性(xing)能(neng)石英(ying)(ying)玻(bo)璃關鍵(jian)材料(liao)及制(zhi)(zhi)品的(de)國(guo)(guo)產化，而(er)且還出口到歐洲(zhou)、日本(ben)等國(guo)(guo)。