文章來源：中國建(jian)筑材料集團公司 發布時間：2017-06-16
近日，中國建材(cai)(cai)集團所屬中國建材(cai)(cai)總院基于(yu)光刻用石英玻璃基板(ban)(ban)綠色制造(zao)技(ji)術，在衢州建成了國內首條從基板(ban)(ban)原材(cai)(cai)料制造(zao)到產(chan)(chan)品(pin)加工(gong)的成套生產(chan)(chan)線(xian)。該生產(chan)(chan)線(xian)可年產(chan)(chan)20000片4-6英寸石英玻璃基板(ban)(ban)，打破了石英玻璃基板(ban)(ban)原材(cai)(cai)料及產(chan)(chan)品(pin)長期依賴進口的局面(mian)。
該生(sheng)產線的(de)建立，是中國建材(cai)總院承擔的(de)“十二五”國家科(ke)技(ji)(ji)支撐計劃“高(gao)性(xing)能(neng)石英(ying)(ying)玻(bo)璃(li)(li)、微晶玻(bo)璃(li)(li)等(deng)特(te)種材(cai)料關鍵技(ji)(ji)術研發及(ji)示范(fan)”課題的(de)成果之一。石英(ying)(ying)玻(bo)璃(li)(li)基板(ban)是集成電路芯片制(zhi)造工藝(yi)中的(de)核心器件，市場需(xu)求量巨大。作為(wei)石英(ying)(ying)玻(bo)璃(li)(li)基板(ban)的(de)原材(cai)料，合成石英(ying)(ying)玻(bo)璃(li)(li)具(ju)有熱穩定性(xing)好(hao)、光學均勻(yun)性(xing)高(gao)、耐輻照(zhao)等(deng)諸多優點。然而，受原材(cai)料純(chun)度、均勻(yun)性(xing)及(ji)加工精度、硬脆特(te)性(xing)等(deng)制(zhi)約，我國石英(ying)(ying)玻(bo)璃(li)(li)基板(ban)長期依賴進(jin)口(kou)。
經(jing)過中國(guo)(guo)(guo)建材(cai)總(zong)院科研人(ren)員(yuan)的不(bu)懈努力，最終形成(cheng)了(le)(le)一(yi)套符合我國(guo)(guo)(guo)行業(ye)現(xian)狀與發(fa)(fa)展趨勢的獨(du)有工(gong)藝路線，不(bu)但解決(jue)了(le)(le)石(shi)(shi)英(ying)玻璃(li)(li)(li)基(ji)板原材(cai)料的純度(du)、均勻性(xing)難題，同時實現(xian)了(le)(le)原材(cai)料綠色制(zhi)造(zao)(zao)。該項(xiang)(xiang)目還(huan)(huan)引入多(duo)刀切(qie)割、安全(quan)快速磨拋工(gong)藝，創造(zao)(zao)性(xing)地開(kai)發(fa)(fa)了(le)(le)熔(rong)拉制(zhi)坯、數控倒角等技術，解決(jue)了(le)(le)石(shi)(shi)英(ying)玻璃(li)(li)(li)基(ji)板加工(gong)精度(du)的難題。從基(ji)板原材(cai)料制(zhi)造(zao)(zao)到(dao)產(chan)(chan)品加工(gong)，中國(guo)(guo)(guo)建材(cai)總(zong)院形成(cheng)專利20余項(xiang)(xiang)，行業(ye)標(biao)準、國(guo)(guo)(guo)軍標(biao)及國(guo)(guo)(guo)家標(biao)準10余項(xiang)(xiang)，開(kai)發(fa)(fa)出了(le)(le)多(duo)種規格(ge)的石(shi)(shi)英(ying)玻璃(li)(li)(li)基(ji)板、晶(jing)圓、透鏡(jing)等系列產(chan)(chan)品，不(bu)僅(jin)逐步替代進口產(chan)(chan)品，實現(xian)了(le)(le)高性(xing)能石(shi)(shi)英(ying)玻璃(li)(li)(li)關鍵材(cai)料及制(zhi)品的國(guo)(guo)(guo)產(chan)(chan)化，而(er)且(qie)還(huan)(huan)出口到(dao)歐洲、日本等國(guo)(guo)(guo)。