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航天科技九院771所成功研制抗輻射VDMOS產品

文(wen)章來源:中國航天科技集團公司  發布時間(jian):2018-04-12

2016年,航(hang)天科技集團九院771所新集成電路事(shi)業部全年收(shou)入超2億元(yuan)(yuan),其中(zhong)VDMOS(半導(dao)體(ti)場效應晶(jing)體(ti)管)單項產(chan)品(pin)收(shou)入達8400多萬元(yuan)(yuan),同比增(zeng)長133%。

減(jian)虧目(mu)標(biao) 從產業化(hua)開始

771所新集成電路(lu)生產(chan)線投產(chan)以來,在專(zhuan)項集成電路(lu)研制(zhi)、開發和生產(chan)方面取得(de)了許(xu)多成績,但由于專(zhuan)項產(chan)品在種(zhong)類、數量等(deng)諸多方面的限制(zhi),該(gai)條生產(chan)線并沒有發揮出最(zui)佳效益(yi),投入與產(chan)出不匹配,連年虧損。

面(mian)對困難和窘(jiong)境(jing),該所開始嘗試用(yong)這條(tiao)生產線開發軍民兩用(yong)且(qie)市場(chang)銷(xiao)量大(da)的產品(pin),將優勢產品(pin)做大(da),實現產業化規模效應,提升(sheng)經濟效益。

經過(guo)認真分析(xi),所(suo)領導決(jue)定(ding)將(jiang)VDMOS作為(wei)壯大(da)產(chan)(chan)業(ye)的主(zhu)打產(chan)(chan)品(pin),達(da)到提質增效、減少虧(kui)損的目標。VD?MOS 產(chan)(chan)品(pin)兼有雙極晶體管(guan)和普通MOS器(qi)件的優點,在功率器(qi)件市場中的份額占比(bi)達(da)到45%。該所(suo)加大(da)力度,重點將(jiang)VDMOS產(chan)(chan)品(pin)產(chan)(chan)業(ye)化(hua)。

模式創新 嘗試有限產業鏈

過去,由于對新集(ji)成(cheng)電路生產線采用了當時比較流行的純工藝代工模式,所(suo)里沒有(you)(you)自己的主打(da)產品,沒有(you)(you)自己的研發核心,規(gui)模有(you)(you)限,經濟效益受到影響。

為(wei)了在(zai)經營(ying)模(mo)式(shi)上(shang)支(zhi)持新(xin)(xin)集(ji)成電路生產(chan)線的發展,771所(suo)決定(ding)對該(gai)(gai)事(shi)業部生產(chan)體系進(jin)行模(mo)式(shi)創(chuang)新(xin)(xin),實(shi)施有限(xian)產(chan)業鏈模(mo)式(shi),成立(li)專(zhuan)項產(chan)品設計(ji)組,使(shi)該(gai)(gai)事(shi)業部由(you)代工的垂(chui)直分(fen)工模(mo)式(shi)向有限(xian)產(chan)業鏈模(mo)式(shi)轉化。

這(zhe)一模式與目前集成(cheng)電路(lu)業(ye)界的發展(zhan)模式不同,但加(jia)強(qiang)了設(she)計工程(cheng)師與工藝工程(cheng)師的結合(he),促進了工藝與生產(chan)的融合(he),提(ti)高(gao)了產(chan)品的成(cheng)品率,為VDMOS產(chan)業(ye)化(hua)奠定了基礎。

攻占(zhan)高端 爭取彎道超車

隨著國家經(jing)濟發展步入新(xin)常態,集成電路(lu)行業遇到了(le)許多新(xin)問題(ti)。在民用市(shi)場(chang)上(shang),雖然 VDMOS 產(chan)品(pin)用途廣、市(shi)場(chang)占有量大(da),但競爭激烈,且產(chan)品(pin)附加值(zhi)低。

不過,在(zai)專項(xiang)高端市場上,情況大(da)不一(yi)樣,國(guo)家大(da)力支(zhi)持研制自主可控的國(guo)產高端元(yuan)器件。而771所是國(guo)家唯(wei)一(yi)的計算機、集成電(dian)(dian)路和混(hun)合集成電(dian)(dian)路等科研生產為一(yi)體的研究所,特別是在(zai)集成電(dian)(dian)路抗(kang)輻照工藝領域有自己獨特的優(you)勢(shi)和特長(chang)。這(zhe)些(xie)成為771 所VDMOS 產品進入高端領域的條件。

要實現VDMOS 產(chan)品的最大效益,走高端(duan)產(chan)品路線是實現彎道超車的最佳思路。于是,該所事業部經過(guo)反復研討,決(jue)心(xin)在抗輻射VDMOS 產(chan)品上下大功(gong)夫。

產品(pin)突破 把工藝作為重點(dian)

在集成(cheng)電路(lu)產品(pin)(pin)的(de)生(sheng)產上,工(gong)藝非常(chang)重要,工(gong)藝條件限定了(le)(le)產品(pin)(pin)的(de)開發(fa),影響著產品(pin)(pin)的(de)成(cheng)品(pin)(pin)率,因此,抗輻(fu)射VDMOS產品(pin)(pin)成(cheng)功(gong)與否的(de)關鍵(jian)在工(gong)藝。抓工(gong)藝紀律,提高(gao)工(gong)藝技術,也(ye)就成(cheng)了(le)(le)最實際的(de)工(gong)作。

為此,771所(suo)強化技術(shu)狀態管(guan)理,該事業(ye)部由代工的(de)狀態管(guan)理模(mo)(mo)式逐(zhu)漸向全(quan)壽命周期質量管(guan)控(kong)模(mo)(mo)式轉型,履(lv)行產(chan)品質量保證的(de)主體責任,提(ti)升了工藝流程文件管(guan)控(kong)等級(ji)。

該所(suo)還重點(dian)針對VDMOS工(gong)藝(yi)平(ping)臺關鍵(jian)工(gong)序(xu)加強技術管控(kong),完成(cheng)了管控(kong)措(cuo)施的落實(shi),每月(yue)對生產線約340個工(gong)序(xu)點(dian)進行工(gong)藝(yi)穩定(ding)性監控(kong),月(yue)平(ping)均達標率(lv)保持在99%,提(ti)升了產品(pin)的穩定(ding)生產能力。

在(zai)研制(zhi)中,771所創新性提出(chu)了(le)抗(kang)輻射(she)加固器(qi)件結(jie)構設計技(ji)術和特殊制(zhi)造工(gong)(gong)藝,使工(gong)(gong)藝技(ji)術再上一(yi)個新臺階。工(gong)(gong)藝技(ji)術的(de)進(jin)步,形成了(le)全(quan)產業鏈的(de)抗(kang)輻射(she)VDMOS 產品(pin)(pin)平(ping)臺,產品(pin)(pin)在(zai)質量、產量上也取(qu)得(de)了(le)重大突破。

經過(guo)(guo)努力,771所2016年完(wan)成(cheng)了(le)44款(kuan)VDMOS 產(chan)(chan)品(pin)的開發。目前,這些產(chan)(chan)品(pin)大部分已通(tong)過(guo)(guo)鑒(jian)定定型,實(shi)現批產(chan)(chan),用于多(duo)種型號任務,創造了(le)可(ke)觀的效益(yi)。2017年以來,該所與多(duo)家(jia)單位簽(qian)訂了(le)VDMOS 供貨合同,以期實(shi)現更高(gao)的經濟效益(yi)和社會(hui)效益(yi)。

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