文章來(lai)源：中國機械(xie)工業(ye)集團公(gong)司 發布時間：2010-07-27
中國(guo)機械工業集(ji)團公(gong)司所屬沈陽儀表(biao)院“高性(xing)能(neng)(neng)硅(gui)(gui)電容(rong)差(cha)壓(ya)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)”項目日前順利通(tong)過(guo)驗收。該項目是沈陽儀表(biao)院承(cheng)擔的(de)2007年(nian)度企業技(ji)術(shu)創新計劃項目。該項目開發了一種適用于智能(neng)(neng)工業變(bian)送器(qi)用硅(gui)(gui)電容(rong)差(cha)壓(ya)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)設(she)計和工藝技(ji)術(shu)，在(zai)硅(gui)(gui)電容(rong)核心結構(gou)設(she)計、電容(rong)封(feng)裝(zhuang)工藝及傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)封(feng)裝(zhuang)結構(gou)方面有創新，有效(xiao)地解(jie)決了硅(gui)(gui)電容(rong)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)研制(zhi)的(de)工藝裝(zhuang)備難題。該項目完成后(hou)，將實現(xian)年(nian)產10萬(wan)只傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)芯片，1.5萬(wan)臺傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)生產能(neng)(neng)力，年(nian)產值達1000萬(wan)元，產品可廣泛應用于航(hang)(hang)空、航(hang)(hang)天、石油化工、能(neng)(neng)源電力、冶金(jin)、機械、電子(zi)、環保等各個領域(yu)。