文(wen)章來(lai)源：中國機械工(gong)業集團公司 發布(bu)時間：2012-08-17
國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。
該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發研制出完全擁有自主知識產權的新型高性能硅電容差壓傳感器產品，產品精度優于0.075%FS，技術水平達到國內領先、國際一流。
項目建(jian)成(cheng)了(le)年生產(chan)能力一(yi)萬(wan)臺的(de)硅電容差壓(ya)傳(chuan)感器(qi)(qi)生產(chan)線，實現了(le)產(chan)品(pin)的(de)系列化生產(chan)，并首(shou)次實現智能變(bian)送器(qi)(qi)產(chan)品(pin)核(he)(he)心傳(chuan)感器(qi)(qi)的(de)國(guo)(guo)產(chan)化配(pei)套，打(da)破(po)了(le)國(guo)(guo)外的(de)技術封鎖，填(tian)補(bu)了(le)國(guo)(guo)內空白(bai)。同時，作為上(shang)游核(he)(he)心器(qi)(qi)件，該項研究帶動了(le)傳(chuan)感器(qi)(qi)、變(bian)送器(qi)(qi)及(ji)相關儀(yi)表產(chan)業的(de)發展，解決了(le)有(you)表無芯的(de)問題，有(you)效(xiao)地支撐了(le)高端裝備制(zhi)造產(chan)業鏈建(jian)設。