文(wen)章來源：中國機械(xie)工業(ye)集團公(gong)司 發布(bu)時間(jian)：2012-08-17
國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。
該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發研制出完全擁有自主知識產權的新型高性能硅電容差壓傳感器產品，產品精度優于0.075%FS，技術水平達到國內領先、國際一流。
項(xiang)目建(jian)成了(le)年生(sheng)產(chan)能力一(yi)萬臺的硅電容差(cha)壓傳感器(qi)(qi)生(sheng)產(chan)線，實(shi)現了(le)產(chan)品的系列化(hua)生(sheng)產(chan)，并首次(ci)實(shi)現智能變送(song)(song)器(qi)(qi)產(chan)品核心(xin)傳感器(qi)(qi)的國產(chan)化(hua)配套，打破(po)了(le)國外的技術封鎖，填補(bu)了(le)國內空白。同(tong)時，作為上游(you)核心(xin)器(qi)(qi)件，該項(xiang)研(yan)究帶動了(le)傳感器(qi)(qi)、變送(song)(song)器(qi)(qi)及相關儀表(biao)產(chan)業的發展，解(jie)決了(le)有表(biao)無芯(xin)的問題，有效地支撐(cheng)了(le)高端裝(zhuang)備制(zhi)造產(chan)業鏈建(jian)設。