文(wen)章來源：中(zhong)國電子科技集團公司(si) 發布時間(jian)：2013-10-11
日前，由中國電子科技集團第13研究所研制的MEMS加速度傳感器突破了高精度SOI工藝加工、圓片級可調阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關鍵技術，在國際招標項目中，一舉戰勝美國PCB公司和瑞士奇石樂等國際知名傳感器廠商。這是國產MEMS加速度傳感器首次在國際招標中獲勝，標志著中國電科MEMS加速度傳感器已達到國際先進產品水平。
MEMS加速度傳(chuan)感器具(ju)備高(gao)精度、高(gao)分辨率(lv)（分辨率(lv)優(you)于10μg）、低噪聲（13所2.5μg，國外(wai)(wai)同類(lei)(lei)產品(pin)約(yue)5μg）、低功耗、低溫漂、抗過載和超小(xiao)體積(ji)（體積(ji)是國外(wai)(wai)同類(lei)(lei)產品(pin)1/4）、重量小(xiao)于1.2克（國外(wai)(wai)同類(lei)(lei)產品(pin)約(yue)10克）等技術特點，主要(yao)技術指標全面(mian)超越國外(wai)(wai)同類(lei)(lei)產品(pin)。