文章來源：中國電子科技集團(tuan)公(gong)司 發布(bu)時(shi)間(jian)：2014-08-30
近日，由中國電子科技集團48所、2所、55所共同申請的國家科技部“863”前沿技術項目已獲批，該項目的主要目的是為高壓碳化硅電力電子器件的制造提供關鍵設備和工藝，其中包括4-6寸碳化硅單晶生長爐、碳化硅外延生長爐和碳化硅高溫高能離子注入機的研發。
當(dang)前正值我(wo)國(guo)大(da)力(li)開(kai)展科(ke)技創(chuang)新推動產業轉(zhuan)型升級的新時期，碳化硅制造設備(bei)已被列入國(guo)家《新材料(liao)產業“十二五”發展規(gui)劃(hua)》重點(dian)產品目(mu)錄，碳化硅材料(liao)和器件的科(ke)研也已納入電(dian)(dian)力(li)電(dian)(dian)子行業“十二五”規(gui)劃(hua)。項目(mu)獲批，對中國(guo)電(dian)(dian)科(ke)搶占SiC裝備(bei)市場(chang)的先機奠定(ding)了堅實基礎。