文章來源(yuan)：中國兵器裝備集團公司 發(fa)布(bu)時間(jian)：2009-11-07
近日(ri)，中國(guo)(guo)(guo)兵器(qi)裝備集團公司成(cheng)功(gong)研(yan)(yan)制(zhi)(zhi)出國(guo)(guo)(guo)內(nei)首(shou)套(tao)磁(ci)控濺(jian)射鍍(du)(du)(du)膜機(ji)(ji)(ji)，填(tian)補了該項目國(guo)(guo)(guo)內(nei)空白，實現了高精(jing)度濺(jian)射鍍(du)(du)(du)膜機(ji)(ji)(ji)的(de)國(guo)(guo)(guo)產化，滿足(zu)我(wo)國(guo)(guo)(guo)當前大批量、穩定鍍(du)(du)(du)制(zhi)(zhi)多(duo)種高品質精(jing)密光(guang)學薄膜的(de)需求，為(wei)我(wo)國(guo)(guo)(guo)今(jin)后一(yi)段(duan)時期的(de)鍍(du)(du)(du)膜機(ji)(ji)(ji)研(yan)(yan)發(fa)提(ti)供(gong)了方向(xiang)。該機(ji)(ji)(ji)型(xing)由集團公司自主(zhu)研(yan)(yan)制(zhi)(zhi)生產，具(ju)有完全(quan)自主(zhu)知識產權，其技術水平處于國(guo)(guo)(guo)內(nei)領先，創造(zao)了國(guo)(guo)(guo)內(nei)鍍(du)(du)(du)膜機(ji)(ji)(ji)研(yan)(yan)制(zhi)(zhi)的(de)4個(ge)第一(yi)次：第一(yi)次采(cai)用(yong)磁(ci)控濺(jian)射和電子(zi)(zi)蒸(zheng)鍍(du)(du)(du)兩(liang)(liang)(liang)套(tao)鍍(du)(du)(du)膜系(xi)統，將(jiang)蒸(zheng)鍍(du)(du)(du)技術與(yu)濺(jian)射技術在一(yi)臺機(ji)(ji)(ji)器(qi)上實現成(cheng)功(gong)覆蓋，在國(guo)(guo)(guo)內(nei)首(shou)次具(ju)備了蒸(zheng)鍍(du)(du)(du)和濺(jian)射兩(liang)(liang)(liang)種功(gong)能為(wei)一(yi)體的(de)兩(liang)(liang)(liang)用(yong)機(ji)(ji)(ji)型(xing)，減少了設備的(de)采(cai)購成(cheng)本和能源(yuan)消耗(hao)；第一(yi)次在真(zhen)空室的(de)設計上采(cai)用(yong)雙真(zhen)空室，有利于提(ti)高工作(zuo)效率、保(bao)護(hu)靶材和節能降耗(hao)；第一(yi)次運用(yong)了分(fen)子(zi)(zi)泵技術，使極限真(zhen)空實現一(yi)次性達(da)標；在控制(zhi)(zhi)部(bu)分(fen)第一(yi)次采(cai)用(yong)工控機(ji)(ji)(ji)控制(zhi)(zhi)，提(ti)高了設備的(de)自動化程度，避免了人為(wei)因素造(zao)成(cheng)的(de)失誤。