文(wen)章來源(yuan)：中國機械工業(ye)集團公司 發布時間：2010-05-15
日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。
作為壓(ya)(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)核心(xin)部(bu)件，MEMS硅基(ji)壓(ya)(ya)力(li)敏(min)感(gan)(gan)芯片是決定(ding)壓(ya)(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)性能(neng)的(de)(de)關鍵。該(gai)項目建立了國內惟一一條具有自主(zhu)產(chan)(chan)權的(de)(de)、采用MEMS工(gong)(gong)藝批量(liang)生(sheng)產(chan)(chan)硅基(ji)壓(ya)(ya)力(li)敏(min)感(gan)(gan)芯片的(de)(de)生(sheng)產(chan)(chan)線，年產(chan)(chan)能(neng)為150萬只芯片，并同步完成批產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝規(gui)范及產(chan)(chan)品企業標準的(de)(de)制(zhi)定(ding)工(gong)(gong)作。該(gai)產(chan)(chan)品不僅替代進(jin)口，還(huan)配(pei)套量(liang)產(chan)(chan)了多類硅基(ji)壓(ya)(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，可廣泛用于航空航天、石油(you)化(hua)工(gong)(gong)、水(shui)電、冶金制(zhi)造、醫藥衛生(sheng)、食品加工(gong)(gong)及城市(shi)給(gei)排水(shui)等領域，取得了良(liang)好的(de)(de)經濟效益和社會(hui)效益，累計(ji)新增產(chan)(chan)值3500多萬元。