文章來源：中國機械工業集團公(gong)司(si) 發布時間(jian)：2010-05-15
日前，中國機械工業集團公司所屬沈陽儀表科學研究院（沈陽儀表院）自主研發的“MEMS硅基壓力敏感芯片批產工藝技術”項目科研成果經專家鑒定，達到了國內領先、國際先進水平，填補了我國自主批量生產硅基壓力敏感芯片的空白。
作(zuo)為壓(ya)力傳感器(qi)的(de)(de)核(he)心(xin)部件，MEMS硅(gui)基(ji)壓(ya)力敏感芯(xin)片是決定壓(ya)力傳感器(qi)性能(neng)的(de)(de)關鍵。該項目建立了(le)(le)國內(nei)惟一一條(tiao)具有自主產(chan)權的(de)(de)、采用MEMS工(gong)藝(yi)批(pi)量(liang)生產(chan)硅(gui)基(ji)壓(ya)力敏感芯(xin)片的(de)(de)生產(chan)線，年產(chan)能(neng)為150萬只芯(xin)片，并(bing)同步完成批(pi)產(chan)工(gong)藝(yi)規范及產(chan)品企(qi)業標準的(de)(de)制(zhi)(zhi)定工(gong)作(zuo)。該產(chan)品不僅替代進(jin)口(kou)，還配套量(liang)產(chan)了(le)(le)多類硅(gui)基(ji)壓(ya)力傳感器(qi)，可(ke)廣泛(fan)用于(yu)航(hang)空航(hang)天(tian)、石油(you)化工(gong)、水(shui)電、冶(ye)金制(zhi)(zhi)造(zao)、醫藥衛生、食品加工(gong)及城市給排水(shui)等(deng)領(ling)域(yu)，取得了(le)(le)良好的(de)(de)經濟效(xiao)(xiao)益和社會效(xiao)(xiao)益，累計新增(zeng)產(chan)值3500多萬元。