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國機集團“高性能硅電容差壓傳感器”通過驗收

文(wen)章來源:中國機械工(gong)業集團公(gong)司(si)  發布時(shi)間(jian):2010-07-27

  中國機(ji)(ji)械工(gong)(gong)業集團公司(si)所屬沈陽儀表(biao)院“高(gao)性能硅(gui)電(dian)容差(cha)壓傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)”項(xiang)目日(ri)前順利通過驗收(shou)。該(gai)項(xiang)目是(shi)沈陽儀表(biao)院承擔的(de)2007年度企業技術(shu)創(chuang)新計劃(hua)項(xiang)目。該(gai)項(xiang)目開發了(le)一種適用(yong)于智能工(gong)(gong)業變送器(qi)用(yong)硅(gui)電(dian)容差(cha)壓傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)設計和工(gong)(gong)藝(yi)技術(shu),在(zai)硅(gui)電(dian)容核心(xin)結(jie)(jie)構(gou)設計、電(dian)容封(feng)裝工(gong)(gong)藝(yi)及傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)封(feng)裝結(jie)(jie)構(gou)方面有(you)創(chuang)新,有(you)效地解(jie)決了(le)硅(gui)電(dian)容傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)研制的(de)工(gong)(gong)藝(yi)裝備難題。該(gai)項(xiang)目完成后,將實(shi)現(xian)年產10萬(wan)只傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)芯片,1.5萬(wan)臺傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)生(sheng)產能力,年產值達1000萬(wan)元,產品可廣泛(fan)應用(yong)于航空、航天、石油化工(gong)(gong)、能源(yuan)電(dian)力、冶金、機(ji)(ji)械、電(dian)子、環(huan)保等各個領(ling)域(yu)。

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