文章來源：中國機械(xie)工業(ye)集(ji)團公(gong)司 發布(bu)時間：2010-07-27
中國(guo)機械工(gong)業(ye)集團公司所屬沈(shen)陽(yang)(yang)儀表院“高性能(neng)(neng)硅電(dian)容差壓傳感(gan)(gan)器(qi)”項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目(mu)日前順(shun)利通(tong)過(guo)驗(yan)收。該項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目(mu)是沈(shen)陽(yang)(yang)儀表院承(cheng)擔的2007年度企業(ye)技(ji)(ji)術創新計劃項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目(mu)。該項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目(mu)開發了一種(zhong)適用于(yu)智能(neng)(neng)工(gong)業(ye)變送器(qi)用硅電(dian)容差壓傳感(gan)(gan)器(qi)的設(she)計和(he)工(gong)藝技(ji)(ji)術，在(zai)硅電(dian)容核心(xin)結構設(she)計、電(dian)容封裝工(gong)藝及傳感(gan)(gan)器(qi)封裝結構方(fang)面(mian)有創新，有效地解(jie)決了硅電(dian)容傳感(gan)(gan)器(qi)研制的工(gong)藝裝備難(nan)題。該項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目(mu)完(wan)成后，將實現年產10萬只(zhi)傳感(gan)(gan)器(qi)芯片，1.5萬臺傳感(gan)(gan)器(qi)的生產能(neng)(neng)力，年產值達1000萬元，產品可廣(guang)泛應(ying)用于(yu)航空、航天、石油化(hua)工(gong)、能(neng)(neng)源電(dian)力、冶金、機械、電(dian)子、環保等各個領域。