文章來源：福建國資委(wei) 發布時間：2012-06-28
近日，廈(sha)門鎢(wu)(wu)(wu)業承(cheng)擔的(de)《高(gao)(gao)純(chun)六(liu)氟化鎢(wu)(wu)(wu)及(ji)(ji)氣相(xiang)沉積鎢(wu)(wu)(wu)異(yi)型(xing)件關鍵(jian)(jian)技術(shu)合(he)作(zuo)(zuo)研(yan)發》項(xiang)目入(ru)選國(guo)(guo)(guo)(guo)家科技部2010年度第(di)二批國(guo)(guo)(guo)(guo)際(ji)科技合(he)作(zuo)(zuo)專項(xiang)，并(bing)獲550萬元資金支持。高(gao)(gao)純(chun)六(liu)氟化鎢(wu)(wu)(wu)及(ji)(ji)氣相(xiang)沉積鎢(wu)(wu)(wu)異(yi)型(xing)件在國(guo)(guo)(guo)(guo)內無規模化生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)，產(chan)(chan)品長期受制(zhi)(zhi)于人或高(gao)(gao)價進口。廈(sha)鎢(wu)(wu)(wu)通過國(guo)(guo)(guo)(guo)際(ji)合(he)作(zuo)(zuo)，結合(he)公司的(de)鎢(wu)(wu)(wu)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)技術(shu)和資源優勢，集(ji)成創新，解決六(liu)氟化鎢(wu)(wu)(wu)高(gao)(gao)純(chun)化難題，開發氣相(xiang)沉積制(zhi)(zhi)備鎢(wu)(wu)(wu)異(yi)型(xing)件關鍵(jian)(jian)技術(shu)，并(bing)實現(xian)關鍵(jian)(jian)技術(shu)及(ji)(ji)裝備的(de)國(guo)(guo)(guo)(guo)產(chan)(chan)化。此項(xiang)目將填補國(guo)(guo)(guo)(guo)內空白(bai)，提(ti)升我國(guo)(guo)(guo)(guo)鎢(wu)(wu)(wu)產(chan)(chan)品深加(jia)工(gong)水平，并(bing)將進一步(bu)完善廈(sha)鎢(wu)(wu)(wu)產(chan)(chan)業鏈，提(ti)高(gao)(gao)公司國(guo)(guo)(guo)(guo)際(ji)競(jing)爭力。