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9.MEMS氣體傳感器

【所屬領(ling)域】核心電子元器件

【中(zhong)(zhong)央企業名稱(cheng)】中(zhong)(zhong)國(guo)兵器工業集團(tuan)有(you)限公司

【成果簡介】MEMS氣體(ti)(ti)傳(chuan)感(gan)器適用于(yu)室(shi)內空(kong)氣質量監測(ce)(ce)、手機、電(dian)(dian)(dian)腦等(deng)消費類電(dian)(dian)(dian)子產(chan)品(pin)應(ying)用檢(jian)(jian)測(ce)(ce)空(kong)氣質量；也適用于(yu)呼出氣體(ti)(ti)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)儀、室(shi)內煙霧報警等(deng)。MEMS氣體(ti)(ti)傳(chuan)感(gan)器利(li)用MEMS工(gong)藝在硅基襯底(di)上制作(zuo)微熱板，所使用的(de)氣敏材料(liao)是在清潔空(kong)氣中電(dian)(dian)(dian)導(dao)率(lv)較低的(de)金屬氧化物半(ban)導(dao)體(ti)(ti)材料(liao)。當傳(chuan)感(gan)器所處存在氣體(ti)(ti)環境中時，傳(chuan)感(gan)器的(de)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率(lv)隨空(kong)氣中被(bei)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)氣體(ti)(ti)的(de)濃(nong)度而發生改變(bian)。該氣體(ti)(ti)的(de)濃(nong)度越高(gao)(gao)，傳(chuan)感(gan)器的(de)電(dian)(dian)(dian)導(dao)率(lv)就越高(gao)(gao)。使用簡單的(de)電(dian)(dian)(dian)路(lu)即可將電(dian)(dian)(dian)導(dao)率(lv)的(de)變(bian)化轉(zhuan)換為(wei)與該氣體(ti)(ti)濃(nong)度相對應(ying)的(de)輸出信號。本產(chan)品(pin)采用MEMS工(gong)藝，結構堅固，抗震(zhen)性好；具有尺寸(cun)小、功耗低、靈敏度高(gao)(gao)、響應(ying)恢復快(kuai)、驅動電(dian)(dian)(dian)路(lu)簡單、穩定(ding)性好、壽命長等(deng)優點。技術成熟(shu)度9級。

【主要指標】

1.加熱電(dian)阻：88Ω±5Ω

2.加熱功(gong)耗(hao)：≤50mW

3.敏感體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）

4.靈敏度(du)：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用推廣方(fang)式：銷售、轉讓

2.應(ying)用(yong)推(tui)廣領域(yu)：可在白電、消費(fei)電子、環(huan)境監(jian)測等(deng)行業應(ying)用(yong)推(tui)廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集(ji)團聯系(xi)人：左(zuo)睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯系(xi)人：朱震星，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】