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9.MEMS氣體傳感(gan)器

【所屬領(ling)域(yu)】核心(xin)電子元(yuan)器件

【中央企業名(ming)稱】中國兵器工業集團有限(xian)公司

【成果簡介】MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)適用(yong)于室(shi)內(nei)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)質量監(jian)測、手機、電(dian)腦(nao)等(deng)消費(fei)類(lei)電(dian)子產(chan)品(pin)(pin)應用(yong)檢測空(kong)氣(qi)(qi)(qi)質量；也適用(yong)于呼出氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)檢測儀、室(shi)內(nei)煙(yan)霧報警(jing)等(deng)。MEMS氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)利用(yong)MEMS工藝(yi)在硅基(ji)襯底上制作(zuo)微熱板，所使用(yong)的(de)氣(qi)(qi)(qi)敏材料(liao)(liao)是在清潔空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中電(dian)導(dao)(dao)(dao)率較低(di)的(de)金屬氧化(hua)物半導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)材料(liao)(liao)。當傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)所處存在氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)環境中時，傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)導(dao)(dao)(dao)率隨空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中被檢測氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)濃度(du)而發生改變。該氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)濃度(du)越高，傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)導(dao)(dao)(dao)率就越高。使用(yong)簡單(dan)的(de)電(dian)路(lu)即可將電(dian)導(dao)(dao)(dao)率的(de)變化(hua)轉換為與該氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)濃度(du)相對(dui)應的(de)輸出信號(hao)。本產(chan)品(pin)(pin)采用(yong)MEMS工藝(yi)，結構堅固，抗震性好(hao)；具(ju)有尺寸(cun)小、功耗低(di)、靈(ling)敏度(du)高、響應恢復(fu)快(kuai)、驅(qu)動電(dian)路(lu)簡單(dan)、穩定性好(hao)、壽命長等(deng)優點。技術成熟度(du)9級。

【主要指標】

1.加(jia)熱電阻：88Ω±5Ω

2.加熱功(gong)耗：≤50mW

3.敏感(gan)體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇）

4.靈敏度：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應(ying)用推(tui)廣方式：銷售、轉讓(rang)

2.應用(yong)推廣領域：可在白電、消費電子、環(huan)境監(jian)測等行業應用(yong)推廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯(lian)系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯(lian)系人：朱震星，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】