薄膜壓力傳感器
文章來源：中(zhong)國電子(zi)科技集團有(you)限公(gong)司 發布時間(jian)：2024-05-20
39.薄膜壓力傳感器
【所屬領域】核心電子元器(qi)件
【中(zhong)央企(qi)業名稱】中(zhong)國(guo)電子科(ke)技集團(tuan)有限公(gong)司
【成果簡介】項目(mu)產(chan)品(pin)技(ji)術具(ju)有(you)(you)完(wan)全自有(you)(you)知識(shi)產(chan)權，48所1986年創作性(xing)提出采(cai)用(yong)離子(zi)束濺射技(ji)術制(zhi)造(zao)薄(bo)膜(mo)(mo)壓力(li)傳感(gan)器的(de)技(ji)術路線，該路線與國外普遍采(cai)用(yong)的(de)磁控(kong)濺射比較，具(ju)有(you)(you)膜(mo)(mo)層粘附力(li)強(qiang)，致(zhi)密(mi)、均勻等特點，是先(xian)進的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)制(zhi)備(bei)工藝路線。薄(bo)膜(mo)(mo)壓力(li)傳感(gan)器廣泛(fan)應用(yong)于航空、航天、石油、船(chuan)(chuan)舶等領域，具(ju)有(you)(you)高可靠、大(da)量程、耐惡劣(lie)環境等特點。如：柴(chai)油發動(dong)機油軌壓力(li)監(jian)測、高精(jing)度大(da)量程氣壓監(jian)測等。產(chan)品(pin)技(ji)術成熟度高，已經在包(bao)括飛船(chuan)(chuan)、商用(yong)衛星、導彈(dan)、火箭、飛機、航空發動(dong)機、戰車、船(chuan)(chuan)舶等裝(zhuang)備(bei)中(zhong)得到(dao)廣泛(fan)應用(yong)。
【主要指標】
1.精度(du)：≤0.2%FS
2.靈敏(min)度：≥1.5mV/V
3.過載壓力：200%FS
4.熱(re)零(ling)點漂移：≤0.01%FS
5.熱靈(ling)敏度漂移：≤0.015%FS
6.絕緣強(qiang)度：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應用推(tui)廣(guang)方(fang)式：銷售(shou)
2.應用推廣領域：航空、石(shi)油、化工(gong)、鋼鐵、高鐵、船舶等。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人：丁(ding)一(yi)牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成果聯系人：鄒書(shu)怡(yi)，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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