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成果93：超精密導軌及空氣靜壓軸承技術

【所屬領域】關(guan)鍵(jian)零部(bu)件

【中(zhong)央企業名稱】中(zhong)國通(tong)用(yong)技(ji)術(shu)（集團）控(kong)股(gu)有限責(ze)任公司

【成果簡介 】

本成果面向超精密(mi)加工技(ji)(ji)術與裝(zhuang)備(bei)需求，對兩類超精密(mi)關鍵功能部件技(ji)(ji)術產品展開(kai)攻堅。開(kai)展了(le)多孔質節(jie)流雙(shuang)半球(qiu)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓軸(zhou)承設(she)計(ji)、制(zhi)造及裝(zhuang)配工藝技(ji)(ji)術研究(jiu)，掌握(wo)了(le)超精密(mi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓主軸(zhou)伺服控(kong)制(zhi)技(ji)(ji)術。發明了(le)一種全約(yue)束式超精密(mi)液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓導(dao)軌(gui)(gui)單元結構，突破了(le)雙(shuang)膜片節(jie)流型靜(jing)壓滑塊設(she)計(ji)技(ji)(ji)術，掌握(wo)了(le)液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓導(dao)軌(gui)(gui)裝(zhuang)配工藝和(he)伺服控(kong)制(zhi)技(ji)(ji)術。本成果技(ji)(ji)術難(nan)度(du)大(da)、創新性強，自主研制(zhi)的超精密(mi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓主軸(zhou)和(he)液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓導(dao)軌(gui)(gui)總體(ti)(ti)(ti)上達到(dao)國(guo)際(ji)先(xian)進水平(ping)，其中液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)壓導(dao)軌(gui)(gui)全行程直線度(du)指(zhi)標達到(dao)國(guo)際(ji)領先(xian)水平(ping)。

【主要指標】

（一）主軸回轉精(jing)度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌直線度(du)：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣方(fang)式(shi)：銷(xiao)售、轉讓、合(he)作實施、其他

（二）應用推廣領域：航空航天、光(guang)學(xue)、半導體、消費電子等領域中精密(mi)光(guang)學(xue)元件(jian)、復雜結構件(jian)的超精密(mi)生產制(zhi)造與檢測(ce)。?

【成果圖片】

【聯系人】

集(ji)團聯系人(ren)：孫慕(mu)瑤(yao)，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果(guo)聯(lian)系(xi)人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】