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成(cheng)果93：超精密(mi)導軌(gui)及空氣靜壓軸承技術

【所(suo)屬領域】關鍵零部件

【中(zhong)央企業名稱】中(zhong)國通用技術（集團）控(kong)股有限責(ze)任公司

【成果簡介 】

本(ben)成果面向超(chao)精密加工技術與裝備需求，對兩類(lei)超(chao)精密關鍵功能部件技術產(chan)品(pin)展開攻堅。開展了(le)多孔質節流雙半球氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓軸承設(she)計、制造(zao)及(ji)裝配工藝技術研究，掌握(wo)了(le)超(chao)精密氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓主(zhu)軸伺服控(kong)(kong)制技術。發明(ming)了(le)一種(zhong)全約束式超(chao)精密液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)(dao)軌(gui)單元結構，突(tu)破(po)了(le)雙膜(mo)片節流型靜(jing)(jing)壓滑塊設(she)計技術，掌握(wo)了(le)液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)(dao)軌(gui)裝配工藝和伺服控(kong)(kong)制技術。本(ben)成果技術難度大、創新性(xing)強，自(zi)主(zhu)研制的(de)超(chao)精密氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓主(zhu)軸和液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)(dao)軌(gui)總體(ti)(ti)(ti)上(shang)達到國際先進水平(ping)，其中液(ye)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓導(dao)(dao)軌(gui)全行程(cheng)直線度指標達到國際領先水平(ping)。

【主要指標】

（一）主軸回轉精度(du)：≤25nm

（二）主軸轉(zhuan)速：≥3000r/min

（三(san)）導軌直線度(du)：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣方式：銷售(shou)、轉讓、合作實施、其他

（二）應用(yong)推廣領(ling)(ling)域：航空(kong)航天、光學、半導體(ti)、消費電子等(deng)領(ling)(ling)域中精密光學元件、復雜結(jie)構件的(de)超精密生產制造與檢測(ce)。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人(ren)：孫慕(mu)瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯系人：吳(wu)東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】