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9.MEMS氣體傳感器

【所屬(shu)領域】核(he)心電子元(yuan)器件

【中央企業名(ming)稱】中國兵器工業集團(tuan)有限(xian)公司

【成果簡(jian)介】MEMS氣體(ti)(ti)(ti)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)適用(yong)(yong)于室內空(kong)(kong)氣質量(liang)監測、手(shou)機、電(dian)腦等消費類(lei)電(dian)子產品(pin)應用(yong)(yong)檢測空(kong)(kong)氣質量(liang)；也適用(yong)(yong)于呼(hu)出氣體(ti)(ti)(ti)檢測儀、室內煙霧報(bao)警(jing)等。MEMS氣體(ti)(ti)(ti)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)利(li)用(yong)(yong)MEMS工(gong)藝在(zai)硅基襯底上(shang)制作(zuo)微熱板，所(suo)使(shi)用(yong)(yong)的(de)(de)氣敏(min)材料是在(zai)清潔空(kong)(kong)氣中(zhong)電(dian)導率(lv)(lv)較低的(de)(de)金(jin)屬氧化物半導體(ti)(ti)(ti)材料。當傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)所(suo)處存(cun)在(zai)氣體(ti)(ti)(ti)環境(jing)中(zhong)時，傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)電(dian)導率(lv)(lv)隨空(kong)(kong)氣中(zhong)被檢測氣體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)濃(nong)(nong)度(du)(du)而(er)發生改(gai)變。該氣體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)濃(nong)(nong)度(du)(du)越高(gao)，傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)電(dian)導率(lv)(lv)就越高(gao)。使(shi)用(yong)(yong)簡(jian)單(dan)的(de)(de)電(dian)路即可將(jiang)電(dian)導率(lv)(lv)的(de)(de)變化轉換為與該氣體(ti)(ti)(ti)濃(nong)(nong)度(du)(du)相對應的(de)(de)輸出信號。本產品(pin)采用(yong)(yong)MEMS工(gong)藝，結構堅固，抗震性好；具有(you)尺寸小(xiao)、功耗低、靈敏(min)度(du)(du)高(gao)、響(xiang)應恢復快、驅動(dong)電(dian)路簡(jian)單(dan)、穩(wen)定(ding)性好、壽命長等優點。技術(shu)成熟度(du)(du)9級。

【主要指標】

1.加(jia)熱電阻：88Ω±5Ω

2.加熱功耗(hao)：≤50mW

3.敏感(gan)體表面電阻：1KΩ~30KΩ（50ppm乙(yi)醇）

4.靈敏度(du)：R0（空氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用推廣方式(shi)：銷(xiao)售、轉讓

2.應用推廣領(ling)域：可在白電、消費(fei)電子、環境監測等行業應用推廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯(lian)(lian)系人(ren)：左(zuo)睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯(lian)(lian)系人(ren)：朱震星(xing)，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】