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9.MEMS氣體傳(chuan)感器

【所屬領域】核(he)心電子(zi)元器件

【中(zhong)央企業名(ming)稱】中(zhong)國(guo)兵器工業集團有限公司

【成(cheng)果簡(jian)介】MEMS氣(qi)體(ti)(ti)傳(chuan)感器(qi)適(shi)用于(yu)室內(nei)空(kong)(kong)氣(qi)質(zhi)量(liang)監測(ce)、手機、電(dian)腦(nao)等消費(fei)類電(dian)子(zi)產品應(ying)用檢測(ce)空(kong)(kong)氣(qi)質(zhi)量(liang)；也(ye)適(shi)用于(yu)呼(hu)出(chu)氣(qi)體(ti)(ti)檢測(ce)儀、室內(nei)煙霧報(bao)警等。MEMS氣(qi)體(ti)(ti)傳(chuan)感器(qi)利用MEMS工藝在硅(gui)基襯(chen)底上制作微(wei)熱板，所(suo)使用的(de)(de)(de)氣(qi)敏(min)材料是在清潔空(kong)(kong)氣(qi)中電(dian)導(dao)(dao)率較低的(de)(de)(de)金屬氧化(hua)物半導(dao)(dao)體(ti)(ti)材料。當傳(chuan)感器(qi)所(suo)處存在氣(qi)體(ti)(ti)環境中時，傳(chuan)感器(qi)的(de)(de)(de)電(dian)導(dao)(dao)率隨(sui)空(kong)(kong)氣(qi)中被檢測(ce)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)濃(nong)度而發生改變(bian)。該(gai)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)濃(nong)度越高(gao)，傳(chuan)感器(qi)的(de)(de)(de)電(dian)導(dao)(dao)率就越高(gao)。使用簡(jian)單的(de)(de)(de)電(dian)路即(ji)可(ke)將電(dian)導(dao)(dao)率的(de)(de)(de)變(bian)化(hua)轉換為與該(gai)氣(qi)體(ti)(ti)濃(nong)度相(xiang)對(dui)應(ying)的(de)(de)(de)輸出(chu)信(xin)號。本(ben)產品采用MEMS工藝，結構(gou)堅固(gu)，抗(kang)震性好(hao)；具有尺寸小、功耗低、靈(ling)敏(min)度高(gao)、響應(ying)恢(hui)復快(kuai)、驅動電(dian)路簡(jian)單、穩(wen)定性好(hao)、壽命長等優點。技術(shu)成(cheng)熟度9級。

【主要指標】

1.加熱電阻：88Ω±5Ω

2.加熱功(gong)耗：≤50mW

3.敏感體表(biao)面(mian)電(dian)阻(zu)：1KΩ~30KΩ（50ppm乙醇(chun)）

4.靈敏度：R0（空(kong)氣）/RS（50ppm乙醇）≥3.0

【應用推廣需求】

1.應用推廣方式(shi)：銷(xiao)售、轉讓

2.應(ying)用推(tui)廣領域(yu)：可在白電、消費電子、環境監測等(deng)行業應(ying)用推(tui)廣。

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：左睿，010-68963314，zuor@gfcn.cn 成果聯系人：朱震星，18662470410，xing_1018@126.com

【責任編輯：家正】