薄膜壓力傳感器
文章來源：中(zhong)國電子科技(ji)集(ji)團(tuan)有(you)限公司 發布時(shi)間：2024-05-20
39.薄膜(mo)壓(ya)力傳感器
【所(suo)屬領域】核心(xin)電子元(yuan)器件
【中(zhong)央企業名稱(cheng)】中(zhong)國(guo)電子科(ke)技集團有(you)限公司
【成果簡(jian)介】項目產品技術具(ju)有完全自(zi)有知識產權(quan)，48所1986年(nian)創作性提出(chu)采(cai)用離子(zi)束濺射技術制造薄膜(mo)壓力(li)傳感器(qi)的技術路線，該路線與國(guo)外普遍采(cai)用的磁(ci)控濺射比較，具(ju)有膜(mo)層粘附(fu)力(li)強，致密、均勻等(deng)特(te)點，是先(xian)進(jin)的薄膜(mo)制備(bei)工藝路線。薄膜(mo)壓力(li)傳感器(qi)廣泛(fan)(fan)應用于航(hang)空、航(hang)天、石油、船(chuan)舶等(deng)領域，具(ju)有高(gao)(gao)可靠、大(da)量程、耐惡劣環境等(deng)特(te)點。如：柴油發動機油軌壓力(li)監(jian)測、高(gao)(gao)精度大(da)量程氣壓監(jian)測等(deng)。產品技術成熟度高(gao)(gao)，已經在包括飛船(chuan)、商用衛星、導(dao)彈(dan)、火箭(jian)、飛機、航(hang)空發動機、戰車、船(chuan)舶等(deng)裝備(bei)中得(de)到廣泛(fan)(fan)應用。
【主要指標】
1.精度(du)：≤0.2%FS
2.靈敏度：≥1.5mV/V
3.過載壓力(li)：200%FS
4.熱零點漂移(yi)：≤0.01%FS
5.熱靈敏度漂(piao)移：≤0.015%FS
6.絕(jue)緣強度：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應用推(tui)廣方(fang)式：銷售
2.應用推廣(guang)領域：航(hang)空、石(shi)油、化工(gong)、鋼鐵、高(gao)鐵、船舶等(deng)。
【成果圖片】
【聯系人】
集(ji)團聯系人：丁一牧，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成果聯系人：鄒書怡，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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