薄膜壓力傳感器
文章來源：中國電子科技集團有限公司 發(fa)布時間：2024-05-20
39.薄膜壓力傳感器
【所(suo)屬(shu)領域】核(he)心(xin)電子元器件
【中央企業名稱】中國電(dian)子科技(ji)集團有(you)限公(gong)司
【成果簡(jian)介(jie)】項(xiang)目產(chan)(chan)品(pin)技術(shu)(shu)具(ju)有(you)完全自有(you)知識產(chan)(chan)權(quan)，48所1986年創作性提出采(cai)用(yong)離子(zi)束濺射(she)技術(shu)(shu)制造(zao)薄膜壓(ya)力(li)傳感器的(de)技術(shu)(shu)路線(xian)，該路線(xian)與(yu)國外普遍采(cai)用(yong)的(de)磁(ci)控濺射(she)比較，具(ju)有(you)膜層粘(zhan)附(fu)力(li)強，致密、均勻等特點(dian)(dian)，是先進的(de)薄膜制備工藝(yi)路線(xian)。薄膜壓(ya)力(li)傳感器廣泛應(ying)用(yong)于(yu)航空、航天、石油、船舶等領域，具(ju)有(you)高(gao)可(ke)靠、大量程(cheng)、耐惡劣環境等特點(dian)(dian)。如(ru)：柴油發動機油軌(gui)壓(ya)力(li)監測、高(gao)精度大量程(cheng)氣壓(ya)監測等。產(chan)(chan)品(pin)技術(shu)(shu)成熟度高(gao)，已經在包括(kuo)飛(fei)(fei)船、商用(yong)衛星、導彈、火(huo)箭(jian)、飛(fei)(fei)機、航空發動機、戰車、船舶等裝備中(zhong)得到廣泛應(ying)用(yong)。
【主要指標】
1.精度：≤0.2%FS
2.靈敏度：≥1.5mV/V
3.過載壓力：200%FS
4.熱零點漂移(yi)：≤0.01%FS
5.熱靈敏度漂移：≤0.015%FS
6.絕緣(yuan)強度：≥200MΩ/500V
【應用推廣需求】
1.應用推廣方式：銷售
2.應(ying)用推廣(guang)領域(yu)：航空、石油(you)、化工、鋼鐵、高鐵、船舶(bo)等。
【成果圖片】
【聯系人】
集團聯系人：丁一牧(mu)，010-84352395（13552993699），dingyimu@vip.163.com
成果(guo)聯系人：鄒書怡，13591325115，zousy@cs48.com
【責任編輯：家正】
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