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成果(guo)93：超精密(mi)導(dao)軌及(ji)空氣靜壓軸承(cheng)技術

【所屬領域】關鍵零部件

【中央企業名稱】中國通用技術（集團）控(kong)股有限責(ze)任公司(si)

【成果簡介 】

本(ben)成(cheng)(cheng)果面向超精密加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)(shu)與裝備需求，對兩類超精密關(guan)鍵(jian)功能部件(jian)技(ji)(ji)術(shu)(shu)產(chan)品展開攻堅。開展了(le)(le)(le)多孔(kong)質(zhi)節流雙半(ban)球氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)軸承設(she)計、制(zhi)(zhi)造及裝配工(gong)藝技(ji)(ji)術(shu)(shu)研(yan)究，掌握了(le)(le)(le)超精密氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)主(zhu)軸伺服控制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)。發明了(le)(le)(le)一種(zhong)全(quan)(quan)約束式(shi)超精密液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導軌單元結(jie)構，突(tu)破了(le)(le)(le)雙膜(mo)片節流型靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)滑塊設(she)計技(ji)(ji)術(shu)(shu)，掌握了(le)(le)(le)液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導軌裝配工(gong)藝和伺服控制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)。本(ben)成(cheng)(cheng)果技(ji)(ji)術(shu)(shu)難度大、創新性強，自(zi)主(zhu)研(yan)制(zhi)(zhi)的超精密氣(qi)體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)主(zhu)軸和液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導軌總體(ti)(ti)(ti)上達到(dao)國際(ji)(ji)先進水平，其中液體(ti)(ti)(ti)靜(jing)(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)導軌全(quan)(quan)行程(cheng)直線度指標達到(dao)國際(ji)(ji)領先水平。

【主要指標】

（一）主(zhu)軸回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三）導軌(gui)直(zhi)線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣(guang)方式：銷(xiao)售、轉讓、合作實施、其(qi)他

（二）應(ying)用推(tui)廣領域：航空航天(tian)、光(guang)學、半導體、消費電子等領域中精密光(guang)學元件、復雜結構件的超精密生產制造與(yu)檢測(ce)。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯系人：孫慕瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成果聯系(xi)人：吳東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】