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成果(guo)93：超精(jing)密導軌及空氣靜壓軸承技(ji)術

【所屬領域】關鍵零(ling)部件

【中(zhong)(zhong)央企業名(ming)稱】中(zhong)(zhong)國(guo)通用(yong)技(ji)術（集團）控股(gu)有限責(ze)任公司

【成果簡介 】

本成(cheng)果面向超(chao)精密(mi)(mi)加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)與裝(zhuang)備需(xu)求(qiu)，對(dui)兩類超(chao)精密(mi)(mi)關鍵(jian)功(gong)能部件技(ji)(ji)術(shu)產(chan)品展開攻堅(jian)。開展了(le)多(duo)孔質(zhi)節(jie)流雙半(ban)球氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)軸承設計、制(zhi)造(zao)及裝(zhuang)配(pei)工(gong)藝(yi)技(ji)(ji)術(shu)研(yan)究，掌(zhang)握了(le)超(chao)精密(mi)(mi)氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)主軸伺(si)服(fu)控(kong)制(zhi)技(ji)(ji)術(shu)。發明了(le)一種(zhong)全約(yue)束式(shi)超(chao)精密(mi)(mi)液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)導(dao)(dao)(dao)軌單元結構，突破了(le)雙膜片節(jie)流型靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)滑(hua)塊(kuai)設計技(ji)(ji)術(shu)，掌(zhang)握了(le)液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)導(dao)(dao)(dao)軌裝(zhuang)配(pei)工(gong)藝(yi)和伺(si)服(fu)控(kong)制(zhi)技(ji)(ji)術(shu)。本成(cheng)果技(ji)(ji)術(shu)難度大、創新(xin)性強(qiang)，自主研(yan)制(zhi)的超(chao)精密(mi)(mi)氣體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)主軸和液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)導(dao)(dao)(dao)軌總(zong)體(ti)(ti)上達到國(guo)際(ji)先進水平，其中(zhong)液(ye)體(ti)(ti)靜(jing)(jing)壓(ya)(ya)(ya)(ya)導(dao)(dao)(dao)軌全行(xing)程直線度指(zhi)標達到國(guo)際(ji)領(ling)先水平。

【主要指標】

（一）主軸回轉精(jing)度：≤25nm

（二）主軸轉(zhuan)速：≥3000r/min

（三(san)）導(dao)軌直線度：≤0.2μm/200mm

【應用推廣需求】

（一）應用推廣方式：銷售、轉讓、合作實(shi)施、其(qi)他

（二）應用推廣領域(yu)(yu)：航空航天、光學、半導體、消(xiao)費電子等領域(yu)(yu)中精密光學元件(jian)、復雜結構(gou)件(jian)的(de)超精密生產制造(zao)與檢測。?

【成果圖片】

【聯系人】

集團聯(lian)系人：孫慕瑤，010-63349542，sunmuyao@gt.cn

成(cheng)果聯系人：吳(wu)東旭，13260197990，wudongxu@jcs.gt.cn

【責任編輯：王莉】